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半导体设备灭火装置应用场景头条: 半导体设备灭火装置是一种专门为半导体生产设备设计的灭火设备，它可以在半导体生产过程中发生火灾时迅速扑灭火灾，保护设备和人员的安全。半导体设备灭火装置的应用场景主要包括晶圆制造车间如光刻机、蚀刻机、薄膜沉积设备、半导体清洗机、CDS清洗机等。

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